具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整的描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。本領(lǐng)域普通人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，均屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。

實(shí)施例：一種高精度恒溫恒濕微電子百級(jí)潔凈實(shí)驗(yàn)室。

一種高精度恒溫恒濕微電子百級(jí)潔凈實(shí)驗(yàn)室，包括：實(shí)驗(yàn)室外墻組合體4，參照?qǐng)D1、圖21和圖22所示，所述實(shí)驗(yàn)室外墻組合體4由多塊防凝露鋁蜂窩冷熱輻射外墻圍蔽而成，每塊防凝露鋁蜂窩冷熱輻射外墻均包括防凝露鋁蜂窩冷熱輻射板8、安裝壓條89和彩鋼板外墻810，防凝露鋁蜂窩冷熱輻射板8通過(guò)安裝壓條89貼合安裝在彩鋼板外墻810的內(nèi)側(cè)面。安裝在實(shí)驗(yàn)室外墻組合體4內(nèi)的實(shí)驗(yàn)室內(nèi)墻組合體1，參照?qǐng)D1、圖18至圖20所示，所述實(shí)驗(yàn)室外墻組合體4與實(shí)驗(yàn)室內(nèi)墻組合體1之間形成風(fēng)道，所述實(shí)驗(yàn)室內(nèi)墻組合體1由多塊防凝露鋁蜂窩冷熱輻射內(nèi)墻圍蔽而成，每塊防凝露鋁蜂窩冷熱輻射內(nèi)墻均包括防凝露鋁蜂窩冷熱輻射板8、凹型龍骨87和龍骨連接件88，其中，兩塊防凝露鋁蜂窩冷熱輻射板8對(duì)稱嵌入安裝在凹型龍骨87內(nèi)，并通過(guò)龍骨連接件88鎖緊。安裝在實(shí)驗(yàn)室外墻組合體4上方的頂板18，所述頂板18內(nèi)側(cè)安裝有防凝露鋁蜂窩冷熱輻射板8。

參照?qǐng)D1至圖3所示，所述實(shí)驗(yàn)室內(nèi)墻組合體1內(nèi)的防靜電地板15上安裝有光刻機(jī)25、通風(fēng)柜24和實(shí)驗(yàn)桌16，所述光刻機(jī)25的頂部安裝有風(fēng)速傳感器13和煙霧傳感器14，所述實(shí)驗(yàn)室內(nèi)墻組合體1的頂部安裝有TVOC傳感器10、溫濕度傳感器11和CO2傳感器12，水路管道9安裝在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)墻組合體1與實(shí)驗(yàn)室外墻組合體4的間隙之間，所述實(shí)驗(yàn)室內(nèi)墻組合體1的內(nèi)壁上安裝有氣路閥26、攝像頭27、粒子計(jì)數(shù)器28、對(duì)講機(jī)29和照明開(kāi)關(guān)30，所述實(shí)驗(yàn)室外墻組合體4的側(cè)壁上設(shè)置有安全密閉門17和緩沖間密閉門23，所述頂板18外側(cè)安裝有冷凍進(jìn)水管19和冷凍水出水管22，所述冷凍進(jìn)水管19有電動(dòng)流量水閥20，所述冷凍水出水管22上安裝有水溫傳感器21。

參照?qǐng)D15和圖17所示，所述防凝露鋁蜂窩冷熱輻射板8包括：靜電噴涂鋁板81、鋁蜂窩輻射板82和水冷回路管83，所述水冷回路管83嵌入安裝在鋁蜂窩輻射板82內(nèi)，水冷回路管83為一次彎曲成型的銅管，沒(méi)有斷接處，上述特征保證了鋁蜂窩輻射板82內(nèi)不存在滲水、漏水需要維修情況。水冷回路管83的頂部出水口和進(jìn)水口延伸至鋁蜂窩輻射板82的外側(cè)，且水冷回路管83與鋁蜂窩輻射板82對(duì)接處的孔隙內(nèi)填滿導(dǎo)熱密封膠85，確保水冷回路管83與鋁蜂窩輻射板82對(duì)接處具有良好的密封性，水冷回路管83頂部出水口和進(jìn)水口均安裝有水管接頭，所述水冷回路管83頂部的出水口和進(jìn)水口分別通過(guò)水管接頭與外部的冷凍水出水管22和冷凍進(jìn)水管19連接，以方便向水冷回路管3內(nèi)注水循環(huán)，所述冷回路管83頂部的出水口和進(jìn)水口均安裝有電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥和溫度傳感器，并與冷熱輻射板流量控制系統(tǒng)連接。鋁蜂窩輻射板82的蜂窩孔內(nèi)填充有干燥劑84，前后兩塊靜電噴涂鋁板81分別貼合安裝在鋁蜂窩輻射板82的前后兩側(cè)，通過(guò)在鋁蜂窩輻射板82的蜂窩孔里填充干燥劑84，使被兩面靜電噴涂鋁板81封住的鋁蜂窩輻射板82內(nèi)蜂窩孔里的空氣與外面隔絕，并始終處于干燥狀態(tài)，不會(huì)出現(xiàn)結(jié)露滲水的情況。所述鋁蜂窩輻射板82內(nèi)預(yù)埋有貫穿鋁蜂窩輻射板82頂部和底部的布線槽86，降低了安裝過(guò)程中穿線電線或數(shù)據(jù)傳輸線的施工難度，并且增強(qiáng)了布線美觀性。

本防凝露鋁蜂窩冷熱輻射板8設(shè)計(jì)合理，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可以保持持續(xù)的冷熱量傳導(dǎo)、輻射或吸收、對(duì)流，防止板的表面出現(xiàn)凝露、反潮現(xiàn)象。實(shí)際工作時(shí)，水冷回路管83內(nèi)可以走與空調(diào)控制溫度相近的冷卻水，冷熱量通過(guò)鋁蜂窩輻射板82傳導(dǎo)、輻射或吸收，使得靜電噴涂鋁板81表面的溫度可以始終保持與空調(diào)控制的溫度相近，進(jìn)而可以防止靜電噴涂鋁板81的表面出現(xiàn)凝露、反潮現(xiàn)象。由于靜電噴涂鋁板81表面經(jīng)過(guò)靜電噴粉操作，增大了鋁蜂窩輻射板82熱量輻射表面積，同時(shí)在鋁蜂窩輻射板82的蜂窩孔里填充干燥劑84，使被兩面靜電噴涂鋁板81封住的鋁蜂窩輻射板82內(nèi)蜂窩孔里的空氣與外面隔絕，并始終處于干燥狀態(tài)，不會(huì)出現(xiàn)結(jié)露滲水的情況，進(jìn)一步提高防止表面出現(xiàn)凝露、反潮的效果，有利于對(duì)對(duì)微電子實(shí)驗(yàn)室內(nèi)恒溫恒濕環(huán)境的精確控制。

參照?qǐng)D4所示，本高精度恒溫恒濕微電子百級(jí)潔凈實(shí)驗(yàn)室還包括冷熱輻射板流量控制系統(tǒng)，所述冷熱輻射板流量控制系統(tǒng)設(shè)置成四組，分別安裝在實(shí)驗(yàn)室的防凝露鋁蜂窩冷熱輻射外墻內(nèi)側(cè)、防凝露鋁蜂窩冷熱輻射內(nèi)墻外側(cè)、防凝露鋁蜂窩冷熱輻射內(nèi)墻內(nèi)側(cè)及頂板18內(nèi)側(cè)的防凝露鋁蜂窩冷熱輻射板8上，冷熱輻射板流量控制系統(tǒng)分別與安裝在防凝露鋁蜂窩冷熱輻射板8上的冷回路管頂部的出水口和進(jìn)水口的電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥和溫度傳感器電性連接，冷熱輻射板流量控制系統(tǒng)根據(jù)回水溫度實(shí)時(shí)控制電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥開(kāi)度，控制冷熱輻射板流量，實(shí)現(xiàn)回水溫度的調(diào)節(jié)，獲得最佳的水流量。通過(guò)對(duì)冷熱輻射板流量控制系統(tǒng)的創(chuàng)新性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可以實(shí)現(xiàn)水冷熱循環(huán)系統(tǒng)保持不間斷的溫度動(dòng)態(tài)微調(diào)控制，通過(guò)安裝在實(shí)驗(yàn)室的防凝露鋁蜂窩冷熱輻射外墻內(nèi)側(cè)、防凝露鋁蜂窩冷熱輻射內(nèi)墻外側(cè)、防凝露鋁蜂窩冷熱輻射內(nèi)墻內(nèi)側(cè)及頂板18內(nèi)側(cè)的防凝露鋁蜂窩冷熱輻射板8持續(xù)實(shí)現(xiàn)室內(nèi)空氣的熱量不斷通過(guò)對(duì)流、輻射或吸收、傳導(dǎo)與冷熱循環(huán)系統(tǒng)里的水媒介質(zhì)實(shí)現(xiàn)熱量交換，實(shí)現(xiàn)對(duì)室內(nèi)空氣溫度調(diào)節(jié)，具有節(jié)能、不凝水、不集塵、少維護(hù)的特點(diǎn)，內(nèi)外墻間隔形成的空氣循環(huán)通道不需要維修維護(hù)；當(dāng)降溫過(guò)程，防凝露鋁蜂窩冷熱輻射外墻內(nèi)側(cè)比室內(nèi)空氣溫度低，空氣中的熱量不斷被吸收、傳導(dǎo)到冷媒循環(huán)系統(tǒng)的冷卻水中，通過(guò)水路循環(huán)外機(jī)排出熱量；當(dāng)升溫過(guò)程，冷媒循環(huán)系統(tǒng)的水溫度升高，循環(huán)水的熱量通過(guò)鋁蜂窩輻射板的傳導(dǎo)、輻射、對(duì)流到室內(nèi)高頻率內(nèi)循環(huán)空氣中，均勻調(diào)升空氣溫度，從而可以確保室內(nèi)恒溫恒濕環(huán)境的精確控制。

參照?qǐng)D1至圖6所示，本高精度恒溫恒濕微電子百級(jí)潔凈實(shí)驗(yàn)室還包括安裝在頂板外側(cè)的全新風(fēng)潔凈空調(diào)控制系統(tǒng)。由于傳統(tǒng)空調(diào)控制中要實(shí)現(xiàn)溫度、相對(duì)濕度參數(shù)的精準(zhǔn)控制，并保證一定的控制精度，是很困難的。且實(shí)際上由于溫度、相對(duì)濕度之間存在一定的耦合現(xiàn)象，即在絕對(duì)含濕量不變的情況下，溫度升高、相對(duì)濕度減少，而溫度降低、相對(duì)濕度增加，由于兩者耦合、過(guò)程精度控制不夠嚴(yán)格帶來(lái)處理過(guò)程中冷熱量相互抵消的現(xiàn)象，造成能源的極大浪費(fèi)。基于此，本發(fā)明提供的全新風(fēng)潔凈空調(diào)控制系統(tǒng)采用以潔凈實(shí)驗(yàn)室要求的溫度、相對(duì)濕度計(jì)算出的露點(diǎn)溫度為目標(biāo)控制值，避免由于兩者耦合、過(guò)程精度控制不夠嚴(yán)格帶來(lái)處理過(guò)程中冷熱量相互抵消，造成能源極大浪費(fèi)的現(xiàn)象。

本全新風(fēng)潔凈空調(diào)控制系統(tǒng)用于實(shí)時(shí)獲取百級(jí)潔凈室內(nèi)的溫度和相對(duì)濕度值，并繪制焓濕圖，根據(jù)室內(nèi)溫濕度參數(shù)需求在焓濕圖上按照等焓線和等含濕量線劃分成不同的氣象分區(qū)，然后以室內(nèi)需求的溫度、相對(duì)濕度計(jì)算得出的露點(diǎn)溫度為目標(biāo)值，然后根據(jù)空調(diào)工況對(duì)應(yīng)不同外接環(huán)境，對(duì)室外新風(fēng)參數(shù)進(jìn)行控制，從而達(dá)到潔凈室要求的室內(nèi)溫濕度指標(biāo)。

參照?qǐng)D5和圖6所示，所述全新風(fēng)潔凈空調(diào)控制系統(tǒng)包括室外新風(fēng)溫濕度處理裝置7，所述室外新風(fēng)溫濕度處理裝置7由第一外殼體71、第二外殼體72和第三外殼體73拼接而成，所述第一外殼體71、第二外殼體72和第三外殼體73均為左右兩端敞開(kāi)，前、后、上、下四個(gè)面密閉的方形不銹鋼箱體，所述第一外殼體71內(nèi)沿氣體流動(dòng)方向依次設(shè)置有進(jìn)風(fēng)室74、第一過(guò)濾室75、預(yù)熱室76和第一表冷室77，所述第一過(guò)濾室75內(nèi)安裝有過(guò)濾器組件，所述過(guò)濾器組件包括沿氣體流動(dòng)方向依次設(shè)置的初效過(guò)濾器、化學(xué)過(guò)濾模塊和中效過(guò)濾器，實(shí)際工作時(shí)，可以通過(guò)初效過(guò)濾器和中效過(guò)濾器過(guò)濾去除空氣含有的大顆粒雜質(zhì)、灰塵等，通過(guò)設(shè)置的應(yīng)用化學(xué)分子氣相過(guò)濾技術(shù)的專項(xiàng)化學(xué)過(guò)濾模塊經(jīng)化學(xué)反應(yīng)去除空氣中可能含有的化學(xué)污染物NOx、SO2、H2S等。所述預(yù)熱室76內(nèi)安裝有電熱管，預(yù)熱室76的作用是將過(guò)濾后的空氣預(yù)熱至設(shè)定的溫度，所述第一表冷室77內(nèi)安裝有蒸發(fā)盤管，第一表冷室77的作用是蒸發(fā)盤管對(duì)空氣進(jìn)行濕度控制。所述第二外殼體72內(nèi)沿氣體流動(dòng)方向依次設(shè)置有加濕室78、第二表冷室79和再熱室710，所述加濕室78內(nèi)安裝有加濕器，加濕室78的作用是對(duì)經(jīng)過(guò)第一表冷室77進(jìn)行蒸發(fā)后的空氣進(jìn)行必要的加濕操作，以便更好的控制空氣濕度。所述第二表冷室79內(nèi)安裝有蒸發(fā)盤管，第二表冷室79的作用是對(duì)加濕后的空氣再次進(jìn)行表面蒸發(fā)，以便更加精確的控制空氣中的濕度。所述再熱室710內(nèi)安裝有電熱管，通過(guò)再熱室710內(nèi)安裝的電熱管可以將空氣精確加熱至所需溫度。所述第三外殼體73內(nèi)沿氣體流動(dòng)方向依次設(shè)置有風(fēng)機(jī)室711、高效過(guò)濾室712和出風(fēng)室713，所述風(fēng)機(jī)室711內(nèi)安裝有EC風(fēng)機(jī)，實(shí)際工作時(shí)，通過(guò)EC風(fēng)機(jī)產(chǎn)生抽吸力，控制空氣的流向。所述高效過(guò)濾室712內(nèi)安裝有高效過(guò)濾器，高效過(guò)濾器可以過(guò)濾空氣中的微小雜質(zhì)，進(jìn)一步提高空氣的潔凈度。

參照?qǐng)D5和圖6所示，所述第一外殼體71上位于進(jìn)風(fēng)室74和第一過(guò)濾室75之間安裝有第一壓差開(kāi)關(guān)714，所述風(fēng)機(jī)室711的進(jìn)風(fēng)口處安裝有第二壓差開(kāi)關(guān)721，所述風(fēng)機(jī)室711的出風(fēng)口處與高效過(guò)濾室712之間安裝有第三壓差開(kāi)關(guān)722。實(shí)際工作過(guò)程中，只有當(dāng)風(fēng)機(jī)室711內(nèi)安裝的EC風(fēng)機(jī)產(chǎn)生抽吸力后，達(dá)到第一壓差開(kāi)關(guān)714、第二壓差開(kāi)關(guān)721、第三壓差開(kāi)關(guān)722啟動(dòng)的壓差后，第一壓差開(kāi)關(guān)714、第二壓差開(kāi)關(guān)721、第三壓差開(kāi)關(guān)722才會(huì)自動(dòng)打開(kāi)，若壓差達(dá)不到第一壓差開(kāi)關(guān)714、第二壓差開(kāi)關(guān)721、第三壓差開(kāi)關(guān)722啟動(dòng)的設(shè)定值，則第一壓差開(kāi)關(guān)714、第二壓差開(kāi)關(guān)721、第三壓差開(kāi)關(guān)722會(huì)處于關(guān)閉狀態(tài)，整個(gè)系統(tǒng)也處于關(guān)閉狀態(tài)。所述第一外殼體71上位于第一表冷室77處安裝有與第一表冷室77內(nèi)蒸發(fā)盤管相連通的進(jìn)水管和出水管，所述進(jìn)水管和出水管上分別安裝有第一電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥715和第二電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥716。實(shí)際工作時(shí)，可以通過(guò)控制第一電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥715和第二電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥716的開(kāi)度，來(lái)控制對(duì)空氣中水分的蒸發(fā)量，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)空氣濕度的精確控制。所述第二外殼體72上位于加濕室78處安裝有第一溫濕度傳感器717和焓值傳感器718，所述第三外殼體73上位于出風(fēng)室713處安裝有第二溫濕度傳感器723。實(shí)際工作時(shí)，可以通過(guò)第一溫濕度傳感器717和焓值傳感器718精確采集加濕室78內(nèi)空氣的濕度和焓值，以便為后續(xù)的控制提供參數(shù)�？梢酝ㄟ^(guò)第二溫濕度傳感器723精確采集出風(fēng)室713內(nèi)空氣的濕度，為后續(xù)的精確控制提供參數(shù)。

實(shí)際工作時(shí)，微電子實(shí)驗(yàn)室的中央控制系統(tǒng)分別與第一壓差開(kāi)關(guān)714、第一電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥715、第二電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥716、第一溫濕度傳感器717、焓值傳感器718、第三電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥719、第四電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥720、第二壓差開(kāi)關(guān)721、第三壓差開(kāi)關(guān)722、第二溫濕度傳感器723通過(guò)信號(hào)控制線連接，以實(shí)時(shí)獲取百級(jí)潔凈室內(nèi)的溫度和相對(duì)濕度值。然后繪制焓濕圖，根據(jù)室內(nèi)溫濕度參數(shù)需求在焓濕圖上按照等焓線和等含濕量線劃分成四個(gè)氣象分區(qū)，即空調(diào)工況區(qū)，其中空調(diào)工況I區(qū)為增溫加濕工況、空調(diào)工況II區(qū)為冷卻加濕工況、空調(diào)工況III區(qū)和空調(diào)工況IV區(qū)為冷卻除濕工況，空調(diào)工況對(duì)應(yīng)不同外界環(huán)境實(shí)現(xiàn)室內(nèi)溫濕度需求控制。新風(fēng)空調(diào)箱以室內(nèi)需求的溫度、相對(duì)濕度計(jì)算得出的露點(diǎn)溫度為目標(biāo)值，根據(jù)空調(diào)工況對(duì)應(yīng)不同外接環(huán)境，對(duì)室外新風(fēng)參數(shù)進(jìn)行控制，進(jìn)而與經(jīng)過(guò)鋁蜂窩輻射板處后的回風(fēng)進(jìn)行混合，從而達(dá)到潔凈室要求的室內(nèi)溫濕度指標(biāo)。

當(dāng)外界環(huán)境空氣處于空調(diào)工況I區(qū)時(shí)，對(duì)室外空氣進(jìn)行升溫加濕處理：關(guān)閉第一表冷室77的第二電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥716、再熱室710上的第三電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥719，打開(kāi)預(yù)熱室76上的第一電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥715、加濕室78內(nèi)的加濕器，根據(jù)加濕室78前的焓值傳感器718的焓值控制預(yù)熱室76上第一電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥715的開(kāi)度，通過(guò)高效過(guò)濾室712下游出風(fēng)段的第二溫濕度傳感器723溫度設(shè)定值控制再熱室710處第三電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥719的開(kāi)度，進(jìn)而使達(dá)到目標(biāo)參數(shù)的新風(fēng)送至潔凈室頂部時(shí)與經(jīng)防凝露鋁蜂窩冷熱輻射板8處理后的回風(fēng)均勻混合送至潔凈室。

當(dāng)外界環(huán)境空氣處于空調(diào)工況II區(qū)時(shí)，對(duì)室外空氣進(jìn)行冷卻加濕處理：關(guān)閉預(yù)熱室76上的第一電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥715，打開(kāi)第一表冷室77的第二電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥716以及加濕室78加濕器，根加濕室78前的焓值傳感器718的焓值控制第一表冷室77的第二電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥716的開(kāi)度，進(jìn)而通過(guò)高效過(guò)濾室712下游出風(fēng)段的第二溫濕度傳感器723溫度設(shè)定值控制再熱室710處第三電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥719的開(kāi)度，進(jìn)而使達(dá)到目標(biāo)參數(shù)的新風(fēng)送至潔凈室頂部時(shí)與經(jīng)防凝露鋁蜂窩冷熱輻射板8處理后的回風(fēng)均勻混合送至潔凈室。

當(dāng)外界環(huán)境空氣處在空調(diào)工況III區(qū)和空調(diào)工況IV區(qū)時(shí)，對(duì)室外空氣需進(jìn)行冷卻除濕處理：關(guān)閉預(yù)熱室76的第一電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥715，打開(kāi)第一表冷室77的第二電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥716、第二表冷室79上的第四電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥720、以及加濕室78加濕器，根據(jù)第一表冷室77處表冷盤管后的設(shè)定溫度調(diào)整第二電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥716的開(kāi)度，利用中溫冷凍水降低被處理空氣的溫度、含濕量，再通過(guò)加濕室78加濕器，根據(jù)送風(fēng)露點(diǎn)調(diào)節(jié)內(nèi)有低溫冷凍水的第二表冷室79處第四電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥720開(kāi)度，進(jìn)而使達(dá)到目標(biāo)參數(shù)的新風(fēng)送至潔凈室頂部時(shí)與經(jīng)防凝露鋁蜂窩冷熱輻射板8處理后的回風(fēng)均勻混合送至潔凈室。從而實(shí)現(xiàn)根據(jù)空調(diào)工況對(duì)應(yīng)不同外界環(huán)境實(shí)現(xiàn)實(shí)驗(yàn)室內(nèi)溫濕度需求的精確控制。

本全新風(fēng)潔凈空調(diào)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)合理，操作方便，可以對(duì)進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室的室外新風(fēng)進(jìn)行處理，便于對(duì)微電子實(shí)驗(yàn)室內(nèi)恒溫恒濕環(huán)境的精密控制。實(shí)際工作時(shí)，首先通過(guò)風(fēng)機(jī)室711內(nèi)安裝的EC風(fēng)機(jī)產(chǎn)生抽吸力，使得室外空氣依次經(jīng)過(guò)第一外殼體71內(nèi)的進(jìn)風(fēng)室74、第一過(guò)濾室75、預(yù)熱室76、第一表冷室77，第二外殼體72內(nèi)的加濕室78、第二表冷室79、再熱室710，第三外殼體73內(nèi)的風(fēng)機(jī)室711、高效過(guò)濾室712、出風(fēng)室713，最后通過(guò)室外風(fēng)布風(fēng)裝置5進(jìn)入微電子實(shí)驗(yàn)室的室內(nèi)。當(dāng)室外空氣經(jīng)過(guò)第一過(guò)濾室75時(shí)，通過(guò)安裝在第一過(guò)濾室75內(nèi)的過(guò)濾器組件對(duì)室外空氣中可能含有的大顆粒雜質(zhì)、灰塵以及有污染的化學(xué)氣體進(jìn)行過(guò)濾，然后進(jìn)入預(yù)熱室76，通過(guò)安裝在預(yù)熱室76內(nèi)的電熱管對(duì)空氣進(jìn)行預(yù)熱至設(shè)定的溫度，然后再進(jìn)入第一表冷室77，通過(guò)安裝在第一表冷室77內(nèi)的蒸發(fā)盤管對(duì)空氣進(jìn)行濕度的控制，然后進(jìn)入加濕室78對(duì)空氣的濕度再次進(jìn)行調(diào)控，加濕后的空氣進(jìn)入第二表冷室79，通過(guò)安裝在第二表冷室79內(nèi)的蒸發(fā)盤管再次進(jìn)行精確的濕度控制，經(jīng)過(guò)濕度精確控制的空氣被輸送至再熱室710進(jìn)行溫度的精確調(diào)節(jié)，然后通過(guò)風(fēng)機(jī)室711內(nèi)的EC風(fēng)機(jī)的引風(fēng)，經(jīng)過(guò)高效過(guò)濾室712內(nèi)高效過(guò)濾器的高效過(guò)濾后，經(jīng)由出風(fēng)室713進(jìn)入微電子實(shí)驗(yàn)室的室內(nèi)，為微電子實(shí)驗(yàn)室提供溫度和濕度穩(wěn)定的新風(fēng)，減少了新風(fēng)的濕度和溫度波動(dòng)，便于對(duì)微電子實(shí)驗(yàn)室內(nèi)恒溫恒濕環(huán)境的精密控制。

參照?qǐng)D1至圖14所示，本高精度恒溫恒濕微電子百級(jí)潔凈實(shí)驗(yàn)室還包括：FFU風(fēng)量及地板回風(fēng)風(fēng)量控制系統(tǒng)，所述FFU風(fēng)量及地板回風(fēng)風(fēng)量控制系統(tǒng)用于根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)情況分組系統(tǒng)進(jìn)行風(fēng)量微調(diào)控制，通過(guò)在吹風(fēng)面的FFU過(guò)濾機(jī)組內(nèi)安裝風(fēng)速傳感器219，在回風(fēng)的防靜電地板底下安裝電動(dòng)風(fēng)量調(diào)節(jié)閥6，在觸摸屏系統(tǒng)設(shè)置好適合的面風(fēng)速，實(shí)時(shí)檢測(cè)系統(tǒng)層流的面風(fēng)速，兩組FFU過(guò)濾機(jī)組實(shí)時(shí)根據(jù)面風(fēng)速傳感器219反饋的面風(fēng)速，增大或減少風(fēng)機(jī)風(fēng)量，以到達(dá)FFU風(fēng)量微調(diào)控制，回風(fēng)的電動(dòng)風(fēng)量調(diào)節(jié)閥6開(kāi)度再適當(dāng)進(jìn)行微調(diào)，使得實(shí)驗(yàn)室內(nèi)FFU送風(fēng)層面和地板回風(fēng)層面的風(fēng)速均勻一致。

本FFU風(fēng)量及地板回風(fēng)風(fēng)量控制系統(tǒng)中每個(gè)FFU過(guò)濾機(jī)組由一塊控制器實(shí)現(xiàn)速度調(diào)控�？刂破靼惭b于FFU過(guò)濾機(jī)組上，直接從FFU過(guò)濾機(jī)組獲得工作電源，用一兩芯電纜與FFU過(guò)濾機(jī)組電機(jī)就地連接，提供電機(jī)的調(diào)速電源�？刂破骺梢詸z測(cè)電機(jī)狀態(tài)，產(chǎn)生狀態(tài)信息。每個(gè)FFU過(guò)濾機(jī)組控制器帶有一個(gè)RS485接口，用于與中央控制器通訊，接受命令和返回電機(jī)狀態(tài)。在一條雙絞線上，最多允許同時(shí)連接256個(gè)FFU控制器，控制器之間由地址編碼區(qū)分。換言之，有256個(gè)FFU可以同時(shí)受控，組成一個(gè)網(wǎng)絡(luò)。中央控制器再與總控系統(tǒng)通過(guò)TCP/IP通訊，總控系統(tǒng)可以控制每臺(tái)FFU過(guò)濾機(jī)組或分組控制FFU過(guò)濾機(jī)組并顯示FFU過(guò)濾機(jī)組工作狀態(tài)及故障信息。系統(tǒng)布線較少，今后維護(hù)方便。一臺(tái)FFU過(guò)濾機(jī)組故障，不會(huì)影響其它FFU過(guò)濾機(jī)組工作。

參照?qǐng)D7至圖14所示，本FFU風(fēng)量及地板回風(fēng)風(fēng)量控制系統(tǒng)包括：安裝在實(shí)驗(yàn)室外墻組合體4頂部外側(cè)的室外風(fēng)布風(fēng)裝置5，所述室外風(fēng)布風(fēng)裝置5用于將全新風(fēng)潔凈空調(diào)控制系統(tǒng)處理的恒溫恒濕新風(fēng)均勻分布至實(shí)驗(yàn)室內(nèi)墻組合體1的頂部。安裝在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)墻組合體1頂部的FFU送風(fēng)控制系統(tǒng)2，所述FFU送風(fēng)控制系統(tǒng)2由多個(gè)安裝在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)墻組合體1頂部且成方形矩陣分布的FFU過(guò)濾機(jī)組組成，所述FFU送風(fēng)控制系統(tǒng)2中呈方形矩陣分布的FFU過(guò)濾機(jī)組按照送風(fēng)區(qū)域的不同劃分為三個(gè)可獨(dú)立控制的FFU送風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅰ201、FFU送風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅱ202和FFU送風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅲ203，每個(gè)FFU過(guò)濾機(jī)組的出風(fēng)口都安裝有風(fēng)速傳感器219。

參照?qǐng)D9圖至圖14所示，所述FFU過(guò)濾機(jī)組包括FFU過(guò)濾機(jī)組本體211、化學(xué)凈化模塊213、高效過(guò)濾器214和鋁型材龍骨組件，所述鋁型材龍骨組件由四條鋁型材龍骨218首尾相接拼接而成，鋁型材龍骨218首尾拼接處通過(guò)龍骨連接件216固定連接，其中，每個(gè)鋁型材龍骨218的左右兩側(cè)均設(shè)置有插片對(duì)接鉤片2182，鋁型材插片217通過(guò)鉤位與插片對(duì)接鉤片2182契合后固定在鋁型材龍骨218上且向外凸出，每個(gè)鋁型材龍骨218的頂部均設(shè)置有頂部鉤槽2181，吊桿組件215的底部通過(guò)T型螺桿2153嵌入鋁型材龍骨218的頂部鉤槽2181內(nèi)，吊桿組件的頂部懸吊在實(shí)驗(yàn)室外墻組合體的頂板上，所述吊桿組件215包括吊桿2151、吊桿安裝框2152和T型螺桿2153，所述T型螺桿2153的頂部鎖緊安裝在吊桿安裝框2152的底部，且T型螺桿2153的T型端頭嵌入安裝在鋁型材龍骨218的頂部鉤槽2181內(nèi)，所述吊桿2151的底部鎖緊固定在吊桿安裝框2152的頂部，吊桿2151的頂部懸吊在實(shí)驗(yàn)室外墻組合體的頂板上，通過(guò)上述結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可以方便吊桿組件215與鋁型材龍骨218、頂板的快速安裝。且每條鋁型材龍骨218均通過(guò)兩個(gè)吊桿組件215懸吊在實(shí)驗(yàn)室外墻組合體的頂板上，以確保每條鋁型材龍骨218的吊裝平衡、穩(wěn)定。

高效過(guò)濾器214貼合安裝在化學(xué)凈化模塊213的底部，化學(xué)凈化模塊213貼合安裝在FFU過(guò)濾機(jī)組本體211的底部，高效過(guò)濾器214的四個(gè)端邊分別搭放在插入至四條鋁型材龍骨218的四個(gè)鋁型材插片217上。所述FFU過(guò)濾機(jī)組本體211的前后兩個(gè)側(cè)面各對(duì)應(yīng)安裝有兩個(gè)不銹鋼安全插銷212，每個(gè)不銹鋼安全插銷212內(nèi)均安裝有向外凸出的插針，實(shí)際安裝時(shí)，裝好FFU過(guò)濾機(jī)組本體211后，不銹鋼安全插銷212的插針保持凸出狀態(tài)，可防止龍骨上的某個(gè)鋁型材插片217出問(wèn)題時(shí)，F(xiàn)FU過(guò)濾機(jī)組本體211下落過(guò)程中安全插銷212上的插針會(huì)被其它完好的鋁型材插片217架住，確保不會(huì)出現(xiàn)安全事故。所述FFU過(guò)濾機(jī)組本體211的頂部安裝有把手2110，以方便FFU過(guò)濾機(jī)組本體211的搬運(yùn)。所述高效過(guò)濾器214底部安裝有風(fēng)速傳感器219，以方便高效過(guò)濾器214處對(duì)風(fēng)速的精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)。

本實(shí)施例中，所述FFU過(guò)濾機(jī)組本體211包括外殼2111，風(fēng)機(jī)2113安裝在外殼2111內(nèi)，所述外殼2111頂部與風(fēng)機(jī)2113正對(duì)處設(shè)置有入風(fēng)口2112，風(fēng)機(jī)2113的出風(fēng)口處安裝有導(dǎo)流片2114。實(shí)際工作時(shí)，通過(guò)風(fēng)機(jī)2113的運(yùn)轉(zhuǎn)將室外風(fēng)布風(fēng)裝置5的布風(fēng)從入風(fēng)口2112吸入，通過(guò)控制風(fēng)機(jī)2113的功率可以控制入風(fēng)的風(fēng)量，并且經(jīng)過(guò)導(dǎo)流片2114的導(dǎo)流后向?qū)嶒?yàn)室內(nèi)墻組合體1內(nèi)送風(fēng)。

本實(shí)施例中，化學(xué)凈化模塊213內(nèi)填充有高比表面積、多微孔的精細(xì)三氧化二鋁過(guò)濾基材，所述三氧化二鋁過(guò)濾基材表面浸潤(rùn)有強(qiáng)氧化的高錳酸鉀和氫氧化鉀。實(shí)際工作時(shí)，高錳酸鉀和氫氧化鉀分子充分滲透、牢固的吸附在三氧化二鋁過(guò)濾基材的微細(xì)孔內(nèi)表面，當(dāng)酸性和有機(jī)化學(xué)氣體分子經(jīng)過(guò)這些毛細(xì)微孔時(shí)，通過(guò)氧化還原和中和反應(yīng)，能夠高效去除微電子元器件制造和清洗過(guò)程中產(chǎn)生的各種酸性化學(xué)污染氣體和揮發(fā)性有機(jī)污染氣體，比如：氯氣、HCL、HF、H2NO3、溴化氫、硅烷、二氯二氫硅、乙硅烷、三氟化硼、磷烷、砷烷等，產(chǎn)生的無(wú)害鹽類固體留在基材的微孔里，不形成危廢。本發(fā)明通過(guò)增加了專項(xiàng)的化學(xué)凈化模塊213。每小時(shí)300以上的循環(huán)換氣次數(shù)在超高效(凈化效率99.9995％)的顆粒污染物凈化系統(tǒng)和專項(xiàng)配方的化學(xué)凈化模塊213綜合技術(shù)應(yīng)用下，確保微電子實(shí)驗(yàn)室內(nèi)空氣百級(jí)潔凈度和低濃度化學(xué)污染氣體，降低了微電子芯片元件實(shí)驗(yàn)樣品制程中的干擾因數(shù)。

本發(fā)明通過(guò)對(duì)FFU過(guò)濾機(jī)組的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，極大的方便了FFU風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組的安裝和拆卸。實(shí)際安裝時(shí)，首先利用龍骨連接件216將四條鋁型材龍骨218首尾相接拼接成鋁型材龍骨組件，然后使用吊桿組件215將組裝好的鋁型材龍骨組件吊裝在實(shí)驗(yàn)室的頂板上，然后將高效過(guò)濾器214、化學(xué)凈化模塊213和FFU過(guò)濾機(jī)組本體211安裝成一體的FFU組件，再放置在升降機(jī)平臺(tái)上，利用升降機(jī)平臺(tái)將上述FFU組件經(jīng)由鋁型材龍骨組件中心的框孔頂升至鋁型材龍骨組件的上方，然后將鋁型材插片217以斜位插入鋁型材龍骨218的插片對(duì)接鉤片2182的槽內(nèi)，旋轉(zhuǎn)鋁型材插片217水平推入，上移后外拉，下移往里推，使得插片對(duì)接鉤片2182與鋁型材插片217的鉤位緊密勾連，鋁型材插片217緊固連接在鋁型材龍骨218上，鋁型材插片217作為FFU組件的支撐件，然后控制升降機(jī)平臺(tái)下降，升降機(jī)平臺(tái)在下降的過(guò)程中FFU組件搭放在向外凸出的鋁型材插片217上，實(shí)現(xiàn)FFU組件的承托。當(dāng)需要拆卸FFU組件時(shí)，只需使用升降機(jī)平臺(tái)上頂，將FFU組件頂起后，對(duì)鋁型材插片217進(jìn)行反向操作，將鋁型材插片217從鋁型材龍骨218上分離，然后通過(guò)升降機(jī)平臺(tái)將FFU組件從鋁型材龍骨組件中心的框孔下降至地面即可，從而極大的方便了FFU風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組的安裝和拆卸。

本實(shí)施例中，F(xiàn)FU風(fēng)量及地板回風(fēng)風(fēng)量控制系統(tǒng)還包括安裝在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)墻組合體1底部的地板回風(fēng)控制系統(tǒng)3，所述地板回風(fēng)控制系統(tǒng)3由多塊安裝在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)墻組合體底部且成方形矩陣分布的防靜電地板15組成，每塊防靜電地板15表面都均勻開(kāi)設(shè)有風(fēng)孔，所述地板回風(fēng)控制系統(tǒng)中呈方形矩陣分布的防靜電地板15按照回風(fēng)區(qū)域的不同劃分為三個(gè)可獨(dú)立控制的地面回風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅰ31、地面回風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅱ32和地面回風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅲ33，每塊防靜電地板15的下方均安裝有電動(dòng)風(fēng)量調(diào)節(jié)閥6。本實(shí)施例中，所述FFU送風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅰ201對(duì)應(yīng)成方形矩陣分布的FFU過(guò)濾機(jī)組的外圍機(jī)組，并與地板回風(fēng)控制系統(tǒng)3中的地面回風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅰ31的回風(fēng)區(qū)域相對(duì)應(yīng)；所述FFU送風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅱ202對(duì)應(yīng)成方形矩陣分布的FFU過(guò)濾機(jī)組的中間機(jī)組，并與地板回風(fēng)控制系統(tǒng)3中的地面回風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅱ32的回風(fēng)區(qū)域相對(duì)應(yīng)；所述FFU送風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅲ203對(duì)應(yīng)成方形矩陣分布的FFU過(guò)濾機(jī)組的中心機(jī)組，并與地板回風(fēng)控制系統(tǒng)3中的地面回風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅲ33的回風(fēng)區(qū)域相對(duì)應(yīng)。通過(guò)對(duì)FFU送風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅰ201和地面回風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅰ31、FFU送風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅱ202和地面回風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅱ32、以及FFU送風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅲ203和地面回風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅲ33的對(duì)應(yīng)設(shè)置，便于對(duì)FFU送風(fēng)層面和地板回風(fēng)層面中各不同區(qū)域的風(fēng)速控制，形成穩(wěn)定均勻的送風(fēng)風(fēng)速和回風(fēng)風(fēng)速。

本FFU風(fēng)量及地板回風(fēng)風(fēng)量控制系統(tǒng)還包括中央控制器，所述中央控制器分別與每個(gè)FFU過(guò)濾機(jī)組、風(fēng)速傳感器219、電動(dòng)風(fēng)量調(diào)節(jié)閥6電性連接，中央控制器根據(jù)風(fēng)速傳感器219收集的風(fēng)速數(shù)據(jù)設(shè)定相應(yīng)防靜電地板下方電動(dòng)風(fēng)量調(diào)節(jié)閥6的回風(fēng)量，使得FFU送風(fēng)層面和地板回風(fēng)層面的風(fēng)速均勻一致。

本高精度恒溫恒濕微電子百級(jí)潔凈實(shí)驗(yàn)室通過(guò)對(duì)FFU風(fēng)量及地板回風(fēng)風(fēng)量控制系統(tǒng)的創(chuàng)新性設(shè)計(jì)，可以確保微電子實(shí)驗(yàn)室內(nèi)空氣百級(jí)潔凈度和低濃度化學(xué)污染氣體，降低了微電子芯片元件實(shí)驗(yàn)樣品制程中的干擾因數(shù)和提高科研人員的實(shí)驗(yàn)室內(nèi)工作環(huán)境；獨(dú)特的FFU上送風(fēng)下回風(fēng)風(fēng)量自動(dòng)控制微調(diào)系統(tǒng)，保證了自上而下的風(fēng)量風(fēng)速的均勻一致性。實(shí)際工作時(shí)，外部經(jīng)過(guò)處理的空氣首先經(jīng)由室外風(fēng)布風(fēng)裝置5通過(guò)實(shí)驗(yàn)室外墻組合體4與實(shí)驗(yàn)室內(nèi)墻組合體1頂部之間的風(fēng)道向安裝在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)墻組合體1頂部的FFU送風(fēng)控制系統(tǒng)2進(jìn)行布風(fēng)，F(xiàn)FU送風(fēng)控制系統(tǒng)2由多個(gè)安裝在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)墻組合體頂部且成方形矩陣分布的FFU過(guò)濾機(jī)組組成，并且按照送風(fēng)區(qū)域的不同劃分為三個(gè)可獨(dú)立控制的FFU送風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅰ201、FFU送風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅱ202和FFU送風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅲ203，通過(guò)對(duì)FFU送風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅰ201、FFU送風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅱ202和FFU送風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅲ203中各個(gè)FFU過(guò)濾機(jī)組的獨(dú)立控制，可以控制FFU送風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅰ201、FFU送風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅱ202和FFU送風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅲ203對(duì)應(yīng)送風(fēng)區(qū)域的風(fēng)量和風(fēng)速(風(fēng)速可通過(guò)安裝在FFU過(guò)濾機(jī)組出風(fēng)口的風(fēng)速傳感器獲得)，然后通過(guò)控制地面回風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅰ31、地面回風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅱ32和地面回風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅲ33中各個(gè)電動(dòng)風(fēng)量調(diào)節(jié)閥6，控制地面回風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅰ31、地面回風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅱ32和地面回風(fēng)風(fēng)速調(diào)控組合Ⅲ33對(duì)應(yīng)回風(fēng)區(qū)域的風(fēng)量和風(fēng)速，從而使得FFU送風(fēng)層面和地板回風(fēng)層面的風(fēng)速均勻一致，克服了現(xiàn)有技術(shù)中實(shí)驗(yàn)室內(nèi)的內(nèi)循環(huán)風(fēng)從實(shí)驗(yàn)室內(nèi)墻組合體1底部的防靜電地板小孔回風(fēng)到實(shí)驗(yàn)室內(nèi)外墻形成的風(fēng)道再回流到FFU風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組與實(shí)驗(yàn)室外墻組合體的頂板之間的空間時(shí)，由于風(fēng)道結(jié)構(gòu)造成風(fēng)壓遞減，導(dǎo)致整個(gè)實(shí)驗(yàn)室內(nèi)帶孔的防靜電地板上的回風(fēng)風(fēng)速以及整個(gè)FFU送風(fēng)面風(fēng)速不均勻，越靠近內(nèi)墻周邊的地方風(fēng)量和風(fēng)速會(huì)越大的缺陷，減少了空氣流動(dòng)的波動(dòng)，提高了芯片產(chǎn)品的質(zhì)量穩(wěn)定性。

參照?qǐng)D4所示，本高精度恒溫恒濕微電子百級(jí)潔凈實(shí)驗(yàn)室，還包括：CO2舒適度排補(bǔ)風(fēng)室內(nèi)正壓控制系統(tǒng)，所述CO2舒適度排補(bǔ)風(fēng)室內(nèi)正壓控制系統(tǒng)通過(guò)實(shí)驗(yàn)室內(nèi)安裝的CO2傳感器、壓差傳感器，實(shí)時(shí)檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室內(nèi)的CO2濃度，當(dāng)CO2濃度過(guò)大時(shí)，實(shí)時(shí)增大系統(tǒng)的新風(fēng)量，當(dāng)CO2濃度處于舒適范圍時(shí)，回調(diào)新風(fēng)量，在調(diào)節(jié)補(bǔ)風(fēng)新風(fēng)量的同時(shí)，通過(guò)壓差傳感器實(shí)時(shí)檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室內(nèi)的壓力，并根據(jù)壓力參數(shù)實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)排風(fēng)閥開(kāi)度，控制實(shí)驗(yàn)室的舒適度及系統(tǒng)的正壓穩(wěn)定。

本實(shí)施例中，排補(bǔ)風(fēng)采用上送風(fēng)下回風(fēng)的方式。補(bǔ)風(fēng)由全新風(fēng)潔凈空調(diào)控制系統(tǒng)處理后送入實(shí)驗(yàn)室，補(bǔ)風(fēng)量按人均不小于40m3/h配置。系統(tǒng)實(shí)時(shí)檢測(cè)CO2濃度，CO2濃度過(guò)大時(shí)實(shí)時(shí)增大系統(tǒng)的新風(fēng)量，當(dāng)CO2濃度處于舒適范圍時(shí)，回調(diào)新風(fēng)量。在調(diào)節(jié)補(bǔ)風(fēng)新風(fēng)量的同時(shí)，系統(tǒng)通過(guò)壓差傳感器，實(shí)時(shí)檢測(cè)房間壓力，根據(jù)預(yù)壓力參數(shù)實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)排風(fēng)閥開(kāi)度，以控制實(shí)驗(yàn)室的舒適度及系統(tǒng)的正壓穩(wěn)定。室內(nèi)空氣經(jīng)排風(fēng)閥對(duì)接到整體實(shí)驗(yàn)室的排風(fēng)總管，凈化處理后排到大氣環(huán)境。

參照?qǐng)D4所示，本高精度恒溫恒濕微電子百級(jí)潔凈實(shí)驗(yàn)室還包括：空調(diào)水循環(huán)控制系統(tǒng)，所述空調(diào)水循環(huán)控制系統(tǒng)通過(guò)三位浮點(diǎn)控制方法調(diào)節(jié)安裝在實(shí)驗(yàn)室循環(huán)水供水主管和回水主管上的旁通電動(dòng)蝶閥開(kāi)度，使實(shí)驗(yàn)室循環(huán)水供水主管和回水主管之間的壓差始終保持在設(shè)定值允許誤差范圍內(nèi)。實(shí)際工作時(shí)，循環(huán)水泵為一備兩用，當(dāng)未發(fā)生故障時(shí)，系統(tǒng)將根據(jù)水泵的運(yùn)行時(shí)問(wèn)在下次啟動(dòng)水泵時(shí)自動(dòng)選擇運(yùn)行時(shí)間較短的水泵啟動(dòng)。當(dāng)發(fā)生故障時(shí)，系統(tǒng)將忽略運(yùn)行時(shí)間策略馬上啟動(dòng)各用水泵，盡量減少因水泵故障給鳳冷模塊機(jī)帶來(lái)的熱量負(fù)荷。

參照?qǐng)D4所示，本高精度恒溫恒濕微電子百級(jí)潔凈實(shí)驗(yàn)室還包括：照明系統(tǒng)，所述照明系統(tǒng)通過(guò)觸摸屏控制或面板開(kāi)關(guān)控制實(shí)驗(yàn)室的照明。

參照?qǐng)D4所示，本高精度恒溫恒濕微電子百級(jí)潔凈實(shí)驗(yàn)室還包括：中央控制系統(tǒng)，所述中央控制系統(tǒng)分別與全新風(fēng)潔凈空調(diào)控制系統(tǒng)、FFU風(fēng)量及地板回風(fēng)風(fēng)量控制系統(tǒng)、CO2舒適度排補(bǔ)風(fēng)室內(nèi)正壓控制系統(tǒng)、冷熱輻射板流量控制系統(tǒng)、空調(diào)水循環(huán)控制系統(tǒng)和照明系統(tǒng)連接。中央控制系統(tǒng)作為本高精度恒溫恒濕微電子百級(jí)潔凈實(shí)驗(yàn)室的控制大腦，主要用于協(xié)調(diào)全新風(fēng)潔凈空調(diào)控制系統(tǒng)、FFU風(fēng)量及地板回風(fēng)風(fēng)量控制系統(tǒng)、CO2舒適度排補(bǔ)風(fēng)室內(nèi)正壓控制系統(tǒng)、冷熱輻射板流量控制系統(tǒng)、空調(diào)水循環(huán)控制系統(tǒng)和連接照明系統(tǒng)之間按照設(shè)定的程序運(yùn)行。

本高精度恒溫恒濕微電子百級(jí)潔凈實(shí)驗(yàn)室通過(guò)對(duì)全新風(fēng)潔凈空調(diào)控制系統(tǒng)、FFU風(fēng)量及地板回風(fēng)風(fēng)量控制系統(tǒng)、CO2舒適度排補(bǔ)風(fēng)室內(nèi)正壓控制系統(tǒng)、冷熱輻射板流量控制系統(tǒng)、空調(diào)水循環(huán)控制系統(tǒng)和照明系統(tǒng)的創(chuàng)新性設(shè)計(jì)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)微電子實(shí)驗(yàn)室內(nèi)恒溫恒濕、風(fēng)速均勻環(huán)境的精密控制，確保微電子實(shí)驗(yàn)室內(nèi)空氣百級(jí)潔凈度和低濃度化學(xué)污染氣體，降低了微電子芯片元件實(shí)驗(yàn)樣品制程中的干擾因數(shù)。

以上所述為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，但本發(fā)明不應(yīng)局限于該實(shí)施例和附圖所公開(kāi)的內(nèi)容，所以凡是不脫離本發(fā)明所公開(kāi)的精神下完成的等效或修改，都落入本發(fā)明保護(hù)的范圍。