1、潔凈室的防排煙問題

潔凈室的防排煙問題專業(yè)設(shè)計(jì)人員和消防主管部門共同協(xié)商確定。由于目前尚缺乏具體的設(shè)計(jì)規(guī)范，僅能參照普通建筑或高層建筑防水排煙規(guī)范并結(jié)合生產(chǎn)工藝的特殊性作設(shè)計(jì)方案。即采用所謂性能化防火設(shè)計(jì)，許多國(guó)家都允許在消防設(shè)計(jì)中采用此設(shè)計(jì)方法。該方法的主要特點(diǎn)是容許有一點(diǎn)靈活性和強(qiáng)調(diào)能實(shí)現(xiàn)的使用目的，例如：延長(zhǎng)可用于救災(zāi)的時(shí)間、減少人員逃生所需要的時(shí)間、系統(tǒng)的高可靠性、優(yōu)化和節(jié)約投資等。這樣的設(shè)計(jì)在前期要投入一定的科研，如運(yùn)用相關(guān)的數(shù)學(xué)模型（如火災(zāi)模型、人群疏散模型等）及CFD技術(shù)等。

2、防微振問題

對(duì)于高級(jí)別半導(dǎo)體生產(chǎn)廠房微振動(dòng)會(huì)影響產(chǎn)品成品率，所以在建筑、結(jié)構(gòu)上采用了大量措施，甚至采用了主動(dòng)抗振裝置等。凈化空調(diào)系統(tǒng)本身設(shè)備及氣流引起的振動(dòng)控制也必須十分重視。

3、防靜電問題

由于潔凈室內(nèi)較低的相對(duì)濕度及大量使用絕緣材料，很容易產(chǎn)生靜電集聚。靜電會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品與設(shè)備表面的微粒污染，并損壞耐壓較低的電子元件。防靜電的主要方式有將導(dǎo)體接地、采用靜電保護(hù)罩及使用空氣離子發(fā)生器等。