潔凈室屬生產輔助性工程。在半導體制造過程中需要嚴格控制制程污染。為減少或避免由于細菌、病毒、雜質等污染因子導致的產品缺陷,半導體工藝通常需要在潔凈室環(huán)境下完成。
半導體潔凈室具有不論外在空氣條件如何變化,其室內均具有維持原先所設定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能的特性,對半導體成品率有直接影響。新建半導體潔凈室廠務工程需要采用大量高潔凈應用材料,潔凈室出現(xiàn)污染、泄露、控制錯誤等問題都會造成嚴重良率與安全事故,因而對其的潔凈度、精密度與可靠性要求極高。
新建廠務工程主要包括:
A、半導體項目不同化學品包括清洗液、CMP 拋光液、濕法刻蝕液、廢液等都需鋪設單獨管路;
B、常用的高純特種氣體有 30 多種,包括烷類、鹵化物氣體以及其他氣體,具有易燃、易爆、劇毒等特性,均需鋪設單獨管路;
C、不同制程機臺,需鋪設管路保證正常運轉。管道、閥門等。據(jù)中國產業(yè)研究院數(shù)據(jù),2017 年全球潔凈室工程市場規(guī)模達 3959.4 億元,同比增長約 13.2%。保守預計至 2021 年,全球潔凈室工程市場規(guī)模達 5797 億元。在光伏、光電、生物科技、半導體等應用行業(yè),國內廠商極少,主要競爭對手來自海外,相關概念股如下:
相關個股:
創(chuàng)元科技:疊加生物p3實驗室。
三豐智能:公司與華景電通在半導體潔凈室搬運系統(tǒng)(AMHS)裝備技術上正在進行密切合作,目前全球半導體行業(yè)AMHS系統(tǒng)成熟技術僅有日本二家企業(yè)掌握,AMHS系統(tǒng)可以滿足半導體的細微化及液晶顯示器的精細化加工要求,可為生產的物流合理化提供各種系統(tǒng)解決方案。
萊應材:潔凈室材料。
亞翔集成:高端潔凈室。